德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密定位和测量相关产品高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维的位移台乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SmarAct产品线


SmarAct驱动技术

Ⅰ. 压电驱动器通过和其连接一个摩擦元件与导轨或者轴承的滑动模块接触,压电驱动器本身安装于一个固定的组件。





Ⅱ. 压电驱动器长度随外加电压成正比增加,只要摩擦元件不被过快加速,滑动模块将跟随摩擦元件以相同加速度向前移动。这个阶段被称为Stick-phase.





Ⅲ. 压电驱动器迅速收缩,滑动模块所受惯性力比摩擦力大,摩擦元件在滑动模块表面产生滑动。这样滑动模块保持在其位置不变,摩擦元件随压电驱动器归位。这个阶段被称为Slip-phase。重复Ⅱ和Ⅲ阶段,滑动块就可以步进实现宏观的移动。





Ⅳ. 在Stick-phase阶段,压电驱动器以亚纳米分辨率缓慢伸长,来移动滑动块。这种模式称为scan模式。

Stick-Slip摩擦元件长期工作会产生磨损,SmarAct通过升级EDU(Exchangeable Drive-Units)解决此问题,CLS系列直线纳米位移台均采用该技术。位移台/系统不需返厂维修,由于SmarAct的出场预置,用户可自行更换驱动器,降低更换的维护成本和时间成本。


SMARSHIFT电磁直接驱动(Electromagnetic Direct-Drives Technology)MLS系列位移台,装配非接触式线性马达作为驱动,无磨损。适用于需要体积紧凑、高速、高动力及纳米精度同时满足的应用场景,电磁驱动可以实现1m/s的移动速度。

SmarAct推出SMARFLEX纳米扫描位移台,采用压电驱动实现扫描范围可高达几百μm的高精度定位。对于AFM这类扫描应用,SMARFLEX可提供极大的扫描速度和极小的扫描误差。对于光学显微应用,SMARFLEX可用于精确聚焦及光纤耦合等场景。

位移台


特殊环境兼容位移台


定位系统


精密测量

产品应用