SMARFLEX纳米扫描位移台,采用压电驱动实现扫描范围可高达几百μm的高精度定位。对于AFM这类扫描应用,SMARFLEX可提供极大的扫描速度和极小的扫描误差。对于光学显微应用,SMARFLEX可用于精确聚焦及光纤耦合等场景。
型号 | 扫描范围 | 负载 | 尺寸 | 扫描方向 |
PLF-3232-x.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 12 mm3 | X |
PLF-3232-xy.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 20 mm3 | X,Y |
PLF-3232-z.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 15 mm3 | Z |
PLF-5252-x.200 | > 200μm | 5N | 52 x 52 x 15 mm3 | X |
可选材质:Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)