MLS系列直线纳米位移台-电磁驱动技术
MLS-32系列直线纳米位移台
| 型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
| MLS-3252 |
25 mm |
32 x 52 x 15 mm3 |
80 g |
- 连续力：1N
- 峰值力：2.5N
- 垂直负载：1kg
- 移动质量：40g
- 闭环控制
- 速度：350mm/s (半行程，无负载)
- 最大加速度：50m/s2(无负载)
- 定位稳定性：3nm
- 全行程重复精度(MCS2控制器)：±50nm(单向), ±200nm(双向)
MLS-52系列直线纳米位移台
| 型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
| MLS-5282 |
38 mm |
52 x 82 x 14 mm3 |
200 g |
- 连续力：2N
- 峰值力：5N
- 垂直负载：2kg
- 移动质量：100g
- 闭环控制
- 速度：750mm/s (半行程，无负载)
- 最大加速度：45m/s2(无负载)
- 定位稳定性：3nm
- 全行程重复精度(MCS2控制器)：±50nm(单向), ±200nm(双向)
MLS-92系列直线纳米位移台
| 型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
| MLS-92122 |
65 mm |
92 x 122 x 17 mm3 |
640 g |
- 连续力：7.5N
- 峰值力：22N
- 垂直负载：5kg
- 移动质量：400g
- 闭环控制
- 速度：900mm/s (半行程，无负载)
- 最大加速度：45m/s2(无负载)
- 定位稳定性：3nm
- 全行程重复精度(MCS2控制器)：±50nm(单向), ±200nm(双向)
其他参数及选项
