UV/VUV反射镜

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Acton公司的准分子和Nd:YAG激光反射镜，腔镜以及UV-VUV反射镜。

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Acton公司UV/VUV反射镜

美国Acton公司1961年成立，专业生产高端紫外镜片和镀膜产品，1975年开始提供镜片给NASA -Apollo/Soyuz（阿波罗航天探月飞机）。特有VUV系列最短波长到真空紫外120nm的镜片和镀膜，反射镜具有高反射率、更长寿命、高损伤阈值、耐潮解等特点，可提供定制解决方案。

Acton准分子激光反射镜

波长 反射率 1.0”直径 2.0”直径
126nm ≥ 55% @ NI M126-FR-1D-MB M126-FR-2D-MB
≥ 50% @ 45° AOI M126-FR45-1D-MB M126-FR45-2D-MB
147nm ≥ 75% @ NI M147-FR-1D-MB M147-FR-2D-MB
≥ 70% @ 45° AOI M147-FR45-1D-MB M147-FR45-2D-MB
157nm ≥ 89% @ NI M157-FR-1D-MB M157-FR-2D-MB
≥ 87% @ 45° AOI M157-FR45-1D-MB M157-FR45-2D-MB
172nm ≥ 93% @ NI M172-FR-1D-MB M172-FR-2D-MB
≥ 90% @ 45° AOI M172-FR45-1D-MB M172-FR45-2D-MB
193nm e ≥ 98% @ NI M193-FRe-1D-MB M193-FRe-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M193-FR45e-1D-MB M193-FR45e-2D-MB
193nm XL ≥ 97% @ NI M193-FRXL-1D-MB M193-FRXL-2D-MB
≥ 96% @ 45° AOI M193-FRXL45-1D-MB M193-FRXL45-2D-MB
248nm ≥ 98% @ NI M248-FR-1D-MB M248-FR-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M248-FR45-1D-MB M248-FR45-2D-MB
308nm ≥ 98% @ NI M308-FR-1D-MB M308-FR-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M308-FR45-1D-MB M308-FR45-2D-MB
353nm ≥ 99% @ NI M353-FR-1D-MB M353-FR-2D-MB
≥ 98% @ 45° AOI M353-FR45-1D-MB M353-FR45-2D-MB

Acton Nd:YAG激光反射镜

波长 反射率 1”直径 2”直径 损伤阈值
355 nm @ NI 99.9% M355-FR-HY-1D-MB M355-FR-HY-2D-MB > 15 J/cm2*
355 nm @ 45° AOI ≥ 99% M355-FR45-HY-1D-MB M355-FR45-HY-2D-MB > 15 J/cm2*

* 重频可达100kHz

Acton 双波段准分子/UV激光反射镜

波长 入射角度 λ1
% R		 λ2
% R		 1”直径 2”直径
248/633nm @ Near NI ≥ 97% ≥ 80% M248/633-FR-1D-MB M248/633-FR-2D-MB
248/633nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M248/633-FR45-1D-MB M248/633-FR45-2D-MB
266/633nm @ Near NI ≥ 97% ≥ 80% M266/532-FR-1D-MB M266/532-FR-2D-MB
266/532nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M266/532-FR45-1D-MB M266/532-FR45-2D-MB
308/633nm @ Near NI ≥ 97% ≥ 80% M308/303-FR-1D-MB M308/633-FR-2D-MB
308/633nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M308/633-FR45-1D-MB M308/633-FR45-2D-MB
353/633nm @ Near NI ≥ 98% ≥ 80% M353/633-FR-1D-MB M353/633-FR-2D-MB
353/633nm @ 45° AOI ≥ 98% ≥ 80% M353/633-FR45-1D-MB M353/633-FR45-2D-MB

Acton Al+MgF2宽波段深紫外反射镜

峰值波长 Avg. %R (峰值波长至600nm) 0.5″ 直径 1.0″ 直径 1.5″ 直径 2.0″ 直径
120nm 85% H1200-.5D-MB H1200-1D-MB H1200-1.5D-MB H1200-2D-MB
160nm 87% H1600-.5D-MB H1600-1D-MB H1600-1.5D-MB H1600-2D-MB
190nm 87% H1900-.5D-MB H1900-1D-MB H1900-1.5D-MB H1900-2D-MB

Acton 增强型宽波段MLD反射镜

覆盖波长 Avg. %R @ NI 0.5″ 直径 1.0″ 直径 1.5″ 直径 2.0″ 直径
190-250nm 85% M190-AL/MLD-.5D-MB M190-AL/MLD-1D-MB M190-AL/MLD-1.5D-MB M190-AL/MLD-2D-MB

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