SmarAct SL直线纳米位移台

Stick-Slip驱动方式
超紧凑位移台
适用于极端小型化需求

SL系列微型直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
SL-0610 4.5 mm 11 x 11 x 5.2 mm3 3 g
SL-0620 11 mm 21 x 11 x 5.2 mm3 6 g
SL-0630 16 mm 31 x 11 x 5.2 mm3 9 g

SL-0610,可选低温实验(如液氦温度)版本,也可加热至+150℃.

其他参数及选项

  • 开环步进:50-1500nm
  • 压电扫描范围:1.5μm
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>13mm/s
  • 阻塞力≥1N
  • 垂直负载:100g
  • 高真空和超高真空选项:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
产品特点
  • 亚纳米级高精度兼具大行程
  • 灵活组维,可做复杂系统定制
  • 小体积,大负载
  • 移动速度nm/s-cm/s
  • 可选真空(10-6 mbar)和超高真空(10-11 mbar)兼容
  • 可选用非磁性材料,
  • 可选超低温环境兼容
  • 高性能导轨,可选超长寿命
  • 断电可纳米级锁定
  • 低热漂移&高共振频率
  • 可选低振动模式适用于原子力显微等场景
应用领域
• 光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
• 扫描电镜/光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品操作
• 自动化控制:低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
• 材料应用:缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
• 天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制
• 度量衡学:长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
• 生命科学:细胞操作、膜片钳、计数&分选