SID系列电动光阑
| 型号 | 打开范围 | 打开级数 | 步进 |
| SID-7 | 0.5 mm | 12 | 15-250 nm |
| SID-18 | 1 mm | 13 | 30-500 nm |
| SID-50 | 5 mm | 18 | 30-550 nm |
| SID-5714 | 全闭合 | 12/14 | 30-500 nm |
其他参数及选项
- 开环步进：2-40 μrad. 0.3-3 m° @ STT2013.
- 压电扫描范围：40 μrad. 8 m° @ STT2013.
- 压电扫描精度：<0.1 μrad. 2 μrad @ STT2013.
- 打开速度：约6 mm/s
- 可选闭环驱动器
- -M: SID-7/18/50
- -S: SID-5714
- 非磁性材料选项(仅SID-5714)：-NM
- 高真空(除SID-7)：-HV(10-6 mbar)
- 超高真空选项(仅SID-5714)：-UHV(10-11 mbar)
- 氧化发黑选项：-BK
| 产品特点 | |
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