SmarAct PLF压电扫描纳米位移台

SMARFLEX大范围压电扫描位移台

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PLF系列压电扫描纳米位移台

SMARFLEX纳米扫描位移台,采用压电驱动实现扫描范围可高达几百μm的高精度定位。对于AFM这类扫描应用,SMARFLEX可提供极大的扫描速度和极小的扫描误差。对于光学显微应用,SMARFLEX可用于精确聚焦及光纤耦合等场景。

型号 扫描范围 负载 尺寸 扫描方向
PLF-3232-x.60 > 60μm 5N 32 x 32 x 12 mm3 X
PLF-3232-xy.60 > 60μm 5N 32 x 32 x 20 mm3 X,Y
PLF-3232-z.60 > 60μm 5N 32 x 32 x 15 mm3 Z
PLF-5252-x.200 > 200μm 5N 52 x 52 x 15 mm3 X

可选材质:Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)