SmarAct CLL42直线纳米位移台

Stick-Slip驱动方式
现场可更换摩擦元件
超大行程位移台

CLL42系列滑块式直线纳米位移台——超大行程,可更换摩擦元件

机械参数
行程(mm) 99, 179, 259, 379, 499, 619
导轨长度(mm) 160 – 680
开环参数
速度(mm/s) >15
开环分辨率(MCS2控制器) <1nm
开环分辨率(HCU/CU控制器) 50nm
闭环参数
传感器分辨率(MCS2控制器) 1nm (-S), 4nm (-L)
单向运动重复性(MCS2控制器) ±100nm (-S)
选项
材料和机械选项 多滑块,沉孔,M4螺纹孔
真空兼容度 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

 

产品特点
  • 亚纳米级高精度兼具大行程
  • 灵活组维,可做复杂系统定制
  • 小体积,大负载
  • 移动速度nm/s-cm/s
  • 可选真空(10-6 mbar)和超高真空(10-11 mbar)兼容
  • 可选用非磁性材料,
  • 可选超低温环境兼容
  • 高性能导轨,可选超长寿命
  • 断电可纳米级锁定
  • 低热漂移&高共振频率
  • 可选低振动模式适用于原子力显微等场景
应用领域
• 光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
• 扫描电镜/光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品操作
• 自动化控制:低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
• 材料应用:缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
• 天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制
• 度量衡学:长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
• 生命科学:细胞操作、膜片钳、计数&分选