机械参数 | |
行程(mm) | 99, 179, 259, 379, 499, 619 |
导轨长度(mm) | 160 – 680 |
开环参数 | |
速度(mm/s) | >15 |
开环分辨率(MCS2控制器) | <1nm |
开环分辨率(HCU/CU控制器) | 50nm |
闭环参数 | |
传感器分辨率(MCS2控制器) | 1nm (-S), 4nm (-L) |
单向运动重复性(MCS2控制器) | ±100nm (-S) |
选项 | |
材料和机械选项 | 多滑块,沉孔,M4螺纹孔 |
真空兼容度 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
产品特点 | |
|
应用领域 | |
• 光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节 • 扫描电镜/光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品操作 • 自动化控制:低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成 • 材料应用:缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量 • 天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制 • 度量衡学:长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量 • 生命科学:细胞操作、膜片钳、计数&分选 |